截断、滚磨、切片……无尘车间内，合格硅单晶经过40余道工序，一件件刻蚀设备用硅材料部件成功下线。10月16日，山东有研刻蚀设备用硅材料项目通线量产，这是全省首个集成电路刻蚀设备用硅材料生产项目，在填补省内技术空白同时，还将在完善新一代信息技术产业链上迈出关键一步。

据悉，项目总投资3.57亿元，主要生产大尺寸单晶硅部件加工品，全部达产后年新增硅材料204吨。“刻蚀设备用硅材料部件主要包括硅环和硅电极，是晶圆制造刻蚀环节所需的核心耗材，主要用于生产8至12英寸等离子刻蚀机，在刻蚀机上起到重要支撑作用。”山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞介绍。

作为国内最早开展硅片产业化的企业，此前，有研集团一直生产刻蚀设备用硅部件半成品，来到德州后，开始布局全产业链成品制作。从2021年底谋划至今，经历了漫长的科研攻关道路，其间每次实验都要精益求精，每个环节都要环环相扣，才能保证量产后的产品性能高。“要保证产品杂质少、微缺陷越少，要克服电阻率、金属含量等诸多关键性能指标。”在闫志瑞看来，最难的是直拉硅单晶制备过程，需要保证工艺稳定性、质量参数的一致性。

作为“有研系”在德州布局的重点延链补链项目之一，项目对于完善全省集成电路产业格局，填补省内该领域空白意义重大，同时将彻底改变国内刻蚀设备用硅材料依赖进口的局面，实现了国产替代。“搬来德州后，公司的晶圆用单晶硅材料从8英寸做到了12英寸，实现了崭新跨越。但硅片生产处于集成电路产业的上游环节，附加值最大的在芯片制造中端环节。刻蚀用单晶硅材料属于半导体单晶硅材料生产领域的另一主线，为此我们在这一主线做延展，现在我们不仅制造加工刻蚀用单晶硅材料，还能生产相关成品部件，全产业链布局可以直面终端刻蚀机厂商，无形中提升了市场附加值，在细分领域赛道中增加了竞争力。”闫志瑞告诉记者，“通线代表从小批量转为大批量生产，目前，第一期每月产能1500片，最大目标是每月10000片，根据市场情况会调整生产规模。”

眼下，有研集团已投资近百亿元，共布局7个产业链项目，天衢新区涵盖主要6个项目，并集聚打造了占地1000亩的集成电路关键材料基地。针对每个项目，天衢新区始终坚持靠前服务，成立项目推进专班，“全区成立了三级帮包服务专员队伍，点对点、一对一收集项目建设中的疑难杂症，全方位协助办理各项审批手续、各种配套设施建设，帮助以最快速度落地投产。”天衢新区党工委委员、管委会副主任李涛说。

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记者|刘潇 通讯员|韩哲 张小璐 编辑|王琳
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