PVT单晶生长设备、HVPE单晶生长设备、碳化硅高温氧化设备……11年，11款产品。经过10多年的发展，山东力冠微电子装备有限公司已成为一家集研发、生产、销售为一体的半导体材料工艺装备制造商。

“我们靠技术赢得市场，目前产品远销东南亚、欧美。计划三年之内，我们公司的销售总额能突破10亿元。”山东力冠微电子董事长孙军伟介绍。

从公司设立之初的几个人到如今近200人，企业快速成长的秘诀在科技创新。“这些年来我们的研发投入占销售收入比重始终保持在30％—50％之间，目前我们的研发队伍50多人。”孙军伟说。

山东力冠微电子常年与国内知名半导体企业、科研院校等保持密切合作，企业产品涵盖第一代至第四代半导体材料工艺装备，拥有自主知识产权，广泛应用于集成电路、功率半导体、化合物半导体、5G芯片、光通信、MEMS等新型电子器件制造领域。

“目前我们有5款硅基半导体设备，6款化合晶体设备。其中，我们的化合晶体设备的技术水平位居全国前列。我们的梦想就是为半导体装备产业做出国产可替代产品。”孙军伟说。

山东力冠微电子是济南宽禁带半导体产业园内的企业之一。产业园致力于建设国际领先的宽禁带半导体研发总部，标准化厂房及厂前区配套服务用房，围绕碳化硅、氮化镓等第三代半导体核心材料，重点建设宽禁带半导体研发基地和产业聚集区。截至目前，已入驻山东力冠微电子、山东古天电子、济南华研国芯微电子等近20家半导体企业。

济南宽禁带半导体产业园所处的槐荫经济开发区，半导体及其应用产业已经成长为四大优势产业之一。“我们聚焦半导体材料及其外延、封测、应用器件等主攻方向和新能源汽车、光伏能源、轨道交通、智能控制器件、通讯射频器件等重点领域，加大支持力度、完善政策措施，吸引高端资源和创新要素流入，将半导体及其应用产业打造成开发区的‘一号产业’。充分发挥山东天岳的龙头辐射带动作用，育优育强山东力冠微电子、元山电子、古天电子、纽特动力、华研国芯等骨干企业，着力构建上下游贯通、产研用一体、大中小企业协同的新发展格局。”槐荫经济开发区经济发展局局长赵宁说。