很难想象，这才4月，山东有研半导体材料有限公司的半导体级硅片生产项目订单已排满全年，客户像挂专家号一样排队等待产品下线。4月19日，据该公司总工程师肖清华估算，2021年该公司预计销售额约7亿元，去年销售额为2000多万元。

山东有研半导体材料有限公司2018年落户德州经开区，去年投产，产品为何会这么火？凭什么？

掌握核心技术，产品销路不愁。

窥一斑而知全豹，4月15日，2020年度山东“十大科技成果”“十大科技新闻”揭晓。山东有研半导体材料有限公司“满足14纳米集成电路装备用的18英寸硅单晶及部件全国首次成功投产”上榜。

大规格高纯硅单晶是先进半导体设备的核心部件材料，是纳米级半导体制程良率的重要保障。经过4年的研发，国家重点研发计划“大尺寸高纯稀有金属制品制备技术”结出丰硕成果，山东有研半导体材料有限公司成功攻克大规格高纯硅单晶技术，并于去年下半年在德州经开区实现成果转化，填补了国内空白。

“单晶尺寸越大，难度越高，就像开小汽车的去开大汽车一样，单晶尺寸越大，能量控制难度越高。” 肖清华说，硅单晶的形成是能量转换的过程，直径大的硅单晶产生的热量大，如果热量散不出去，超出承载力等，晶体容易裂开，因此控制热量传输尤为关键。

该成果立足于自主创新，形成了独特的加热装置、单晶信号检测方案、收尾控制方法、位错缺陷判断装置、温度闭环控制等手段，让原子团乖乖排队，做统一动作，有效解决了大规格单晶生长过程热应力、固液界面稳定性、氧含量、纯度、典型缺陷及电阻率控制等问题，达到全球领先水平，形成20余系列产品，全覆盖客户端需求，长成单晶直径达到18英寸（即450mm），为全球最大硅单晶尺寸，纯度可到11N。

和此款产品一样，山东有研的多款产品因科技含量高颇受欢迎。美国、日本、韩国的硅部件厂商抢着下订单，安装于泛林、东京电子等顶尖半导体设备厂商的刻蚀机产品中，并在台积电等产线中使用。

德州日报新媒体出品
记者|王志强 通讯员|韩哲
编辑|苗欣